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单晶硅片(125x125mm)


品名

单晶娃片

导电类型

P型

硅片正方尺寸(mm)

125x125±0.5

硅片对角线(mm)

150±0.5;165±0.5

硅片厚度(中心值)(μm)

180±20;200±20

总厚度变化(μm)

≤30

电阻率范围(Ωcm)

0.8-3.0;3.0-6.0

掺杂元素

碳含量(原子/立方厘米)

≤2.5×1017

氧含量(原子/立方厘米)

≤1x1018

少数载流子寿命(μs)

≥10

表面质量

无裂纹、缺口、缺角、穿孔、亮点

翘曲度(warp/μm)

≤50

邻变垂直度

90°±0.5 °

崩边(mm)

弦长<1.0;深度<0.5;每片不多于2个

线痕(μm)

≤15

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